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- 德耐尔单晶炉用干式螺杆真空机组-无油气污染JDRDS
详细信息
品牌：德耐尔 材质：铸铁 驱动方式：电动 功率：/ 极限压力：/ pa 外形尺寸：1x1x1 mm 型号：JDRDS 性能优势Performance Advantages
无油气污染工艺设备，可获得清洁零件表面;被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用;无油气、油烟等有害气体的排放,有利于环境保护;
避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性;
可单独使用,进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作,抽气效率高,可大幅简化抽真空系统;
机组可作为前级泵使用,与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组,以获得更大的抽速与更高的真空度;
转子间无接触、无磨损,零件损耗小,使用寿命长;
泵腔内采用间隙密封,对少量粉坐不敏感;
智能控制模式,实时监测设备运行状态,并针对异常情况作出报警;
模块化设计,整机体积小,方便移动;
可变频运行,节能效果好;
采用一体化水冷电机设计,运行噪声低,震动小。 -
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