德耐尔单晶炉用干式螺杆真空机组JDRDS900-4W

·  单晶炉用干式螺杆真空泵简介
无油气污染工艺设备，可获得清洁零件表面；被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用；无油气和油烟等有害气体的排放，有利于环境；避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性；螺杆泵与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组，进气压力在1pa至大气压均能正常工作，抽气效率高大大简化抽真空系统；泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，使用寿命长；泵腔内采用间隙密封，对少量小颗粒粉尘不敏感智能控制模式，实时检测设备运行状态参数，并针对异常情况做出警示；模块化设计，整机体积小，且方便移动；可变频运行，节能效果好；采用一体化水冷电机设计，运行噪音低，震动小。
性能优势
· 无油气污染工艺设备，可获得清洁零件表面
· 被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用
· 无油气、油烟等有害气体的排放，有利于环境保护
·避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性
·可单独使用，进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作，抽气速率高，可大幅简化抽真空系统
·机组可作为前级泵使用，与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组，以获得更大的抽速与更高的真空度
·转子间无接触、无磨损，零件损耗小，使用寿命长
·泵腔内采用间隙密封，对少量粉尘不敏感
·智能控制模式，实时监测设备运行状态，并针对异常情况作出报警
·模块化设计，整机体积小，方便移动
·可变频运行，节能效果好
·采用一体化水冷电机设计，运行噪声低，震动小
·  应用
光伏（太阳能），半导体镀膜，FPD（平板显示器）