· 无油涡旋真空泵结构 结构紧凑,运输方便,真空低,静音。免维护,无污染,静音。 · 应用 分析测试仪器,能谱仪,扫描电镜真空镀膜(PVD、CVD、LPD等)电子束焊接、激光焊接真空炉、单晶炉、烘箱,手套箱、排气台预处理室、样品传输抽真空,He质谱检漏,稀有特殊气体回收在循环,空间环境模拟。
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